TY  - GEN
AU  - GHANDI, SARAB K.
TI  - VLSI FABRICATION PRINCIPLES : : SILICON AND  BALLIOM ARSENIDE/ 
SN  - 0-471-86833-7
U1  - 621.38171 G43 
PY  - 1983///
CY  - NEW YORK: 
PB  - JOHN WILEY
KW  - 1.CIRCUITOS INTEGRADOS(VLSI)
KW  - 2.ARSENITO  DE GALIO
KW  - 3.SILICIO
N1  - INCLUYE BIBLIOGRAFIA E INDICE
ER  -