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041 _aspa
082 _a621.38171 G43
100 _aGHANDI, SARAB K.
245 _aVLSI FABRICATION PRINCIPLES :
_bSILICON AND BALLIOM ARSENIDE/
_cS.K. GHANDI.
260 _aNEW YORK:
_bJOHN WILEY
_c1983
300 _aX, 665 P.
_c15 CM.
500 _aINCLUYE BIBLIOGRAFIA E INDICE.
562 _e1
650 _a1.CIRCUITOS INTEGRADOS(VLSI).
650 _a2.ARSENITO DE GALIO.
650 _a3.SILICIO.
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